Messvorrichtung zum Vermessen einer Abbildungsgüte eines EUV-Objektives

Eine Messvorrichtung (10) zum Vermessen einer Abbildungsgüte eines EUV-Objektivs (30) umfasst: eine beugende Teststruktur (26), eine Messlichteinstrahleinrichtung (16), welche dazu konfiguriert ist, Messlicht (21) im EUV-Wellenlängenbereich auf die Teststruktur einzustrahlen, eine Variationseinricht...

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Bibliographic Details
Main Authors FRESE, RALF, HAIDNER, HELMUT, SCHRIEVER, MARTIN, HOCH, RAINER, DEGUENTHER, MARKUS, SAMANIEGO, MICHAEL
Format Patent
LanguageGerman
Published 26.09.2013
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
CINEMATOGRAPHY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
MEASURING
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
TESTING
TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES
TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Summary:Eine Messvorrichtung (10) zum Vermessen einer Abbildungsgüte eines EUV-Objektivs (30) umfasst: eine beugende Teststruktur (26), eine Messlichteinstrahleinrichtung (16), welche dazu konfiguriert ist, Messlicht (21) im EUV-Wellenlängenbereich auf die Teststruktur einzustrahlen, eine Variationseinrichtung (28) zur Variation mindestens eines bildbestimmenden Parameters einer mittels des Objektivs erfolgenden Abbildung der Teststruktur, einen Detektor (14) zum Aufzeichnen eines Bildstapels, welcher mehrere unter Einstellung unterschiedlicher bildbestimmender Parameter erzeugte Bilder umfasst, sowie eine Auswerteeinrichtung (15), welche dazu konfiguriert ist, aus dem Bildstapel die Abbildungsgüte des Objektivs zu bestimmen. A measuring system (10) for measuring an imaging quality of an EUV lens (30) includes a diffractive test structure (26), a measurement light radiating device (16) which is configured to radiate measurement light (21) in the EUV wavelength range onto the test structure, a variation device (28) for varying at least one image-determining parameter of an imaging of the test structure that is effected by a lens, a detector (14) for recording an image stack including a plurality of images generated with different image-determining parameters being set, and an evaluation device (15) which is configured to determine the imaging quality of the lens from the image stack.
Bibliography:Application Number: DE201210204704