Vorrichtung zur Messung der Intensitätsverteilung einer längserstreckten Lichtquelle und Verwendung der Vorrichtung an einer Substratbeleuchtungseinrichtung

Der Erfindung, die eine Vorrichtung zur Messung der Intensitätsverteilung einer längserstreckten Lichtquelle, mit mehreren nebeneinander angeordneten Sensoren und eine Verwendung einer derartigen Vorrichtung an einer Substratbeleuchtungseinrichtung betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, die Intensitä...

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Main Authors GROSS, HARALD, ZSCHIESCHANG, ERWIN
Format Patent
LanguageGerman
Published 14.11.2013
Subjects
COLORIMETRY
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT
MEASURING
MEASURING QUANTITY OF HEAT
MEASURING TEMPERATURE
PHYSICS
RADIATION PYROMETRY
TESTING
THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Summary:Der Erfindung, die eine Vorrichtung zur Messung der Intensitätsverteilung einer längserstreckten Lichtquelle, mit mehreren nebeneinander angeordneten Sensoren und eine Verwendung einer derartigen Vorrichtung an einer Substratbeleuchtungseinrichtung betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, die Intensitätsverteilung der Strahlung einer längserstreckten Lichtquelle während des Betriebs, insbesondere im Vakuum zu ermitteln. Dies wird dadurch gelöst, dass in Richtung der Längserstreckung der Lichtquelle ein lichtabsorbierender Kühlkörper angeordnet ist, der Absorptionselemente aufweist. Diese sind in Richtung der Längserstreckung der Lichtquelle zumindest in einer Reihe und über die gesamte Länge der Lichtquelle angeordnet und mit Temperatursensoren versehen, die mit einer Auswerteeinrichtung verbunden sind.
Bibliography:Application Number: DE201210202874