Micromechanical component for deflecting light beams in e.g. pico projector, has assembly comprising torsion bars and bending bar, where torsion bars are suspended at drive body over bending bar aligned inclined to longitudinal direction

• Main Authors: ECKARDT, MARTIN, TUREK, MONIKA, KRAYL, OLIVER, HEUCK, FRIEDJOF, SCHATZ, FRANK
• Format: Patent
• Language: English; German
• Published: 14.08.2013
• Subjects: ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TRANSPORTING

The component has a drive body (10) movable in a swinging motion along a drive axle by a drive device. A mirror and/or filter unit (12) is connected with the drive body over a link assembly. The mirror and/or filter unit is movably displaced in a self-swinging motion along the drive axle. The link assembly comprises torsion bars (18) and a bending bar (20), where the torsion bars are suspended at the drive body over the bending bar that is aligned inclined to a torsion bar longitudinal direction (16). A connector (14) is arranged between the mirror and/or filter unit and the bending bar. An independent claim is also included for a method for manufacturing a micromechanical component. Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem Antriebskörper (10), welcher mittels einer Antriebseinrichtung in eine Schwingbewegung entlang einer Antriebsachse versetzbar ist, und einer Spiegel- und/oder Filtereinheit (12), welche über eine Verbindungseinrichtung so mit dem Antriebskörper (10) verbunden ist, dass die Spiegel- und/oder Filtereinheit (12) mittels des in die Schwingbewegung entlang der Antriebsachse versetzten Antriebskörpers (10) in zumindest eine Eigenschwingbewegung versetzbar ist, wobei die Verbindungseinrichtung zumindest einen entlang einer Torsionsbalkenlängsrichtung (16) ausgerichteten Torsionsbalken (18) und mindestens einen Biegebalken (20) umfasst, wobei der Torsionsbalken (18) über den mindestens einen geneigt zu der Torsionsbalkenlängsrichtung (16) ausgerichteten Biegebalken (20) an dem Antriebskörper (10) aufgehängt ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.