Vorrichtung zur berührungslosen Kantenprofilbestimmung an einem dünnen scheibenförmigen Objekt

• Main Authors: GAGLIN, AXEL, BECKER, THOMAS, GEY, BERND, RICHTER, FRANK
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 22.08.2013
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur berührungslosen Kantenprofilbestimmung an einem dünnen scheibenförmigen Objekt. Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Bestimmung des Kantenprofils an Halbleiterwafern zu finden, bei der die exakte Bildaufnahme nicht durch spiegelnde Reflexe des Kantenprofils beeinträchtigt ist, wird erfindungsgemäß gelöst, indem mehrere Lichtquellen in Form von Laserstrahlquellen (31, 32), die jeweils ein linienförmiges Lichtbündel (33) aussenden, koplanar in einer gemeinsamen Ebene, die eine orthogonal zur Basisebene (41) des Objekts (2) orientierte Messebene (43) darstellt, angeordnet sind, um aus unterschiedlichen Richtungen auf einen gemeinsamen Schnittpunkt der Laserstrahlquellen im Randbereich des Objekts (2) gerichtet zu werden, wobei in der Messebene (43) eine Lichtschicht (4) ausgebildet ist, die mit mindestens einer Basiskamera (35), die in der Basisebene (41) lateral auf die Messebene (43) gerichtet ist, erfasst wird, um von einer durch die Lichtschicht (4) erzeugten Lichtlinie (44) ausgehendes Streulicht aufzunehmen. A device for noncontact determination of the edge profile at a thin disk-shaped object helps determining the edge profile at semiconductor wafers in which exact image recording is not impaired by specular reflections of the edge profile. A plurality of light sources in the form of laser radiation sources each emitting a line-shaped light bundle are arranged so as to be coplanar in a common plane representing a measurement plane oriented orthogonal to a base plane of the object and are directed from different directions to a common intersection of the laser radiation sources in the edge region of the object. A light sheet is formed in the measurement plane and at least one base camera is directed in the base plane lateral to the measurement plane to capture scattered light proceeding from a light line generated by the light sheet when impinging the object edge region.