Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Silizium-Blöcken

• Main Authors: Freudenberg, Bernhard, Dr, Zacharias, Robert, Löbel, Christian
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 15.11.2018
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR; CHEMISTRY; CRYSTAL GROWTH; METALLURGY; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; SINGLE-CRYSTAL-GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL

Vorrichtung (3) zur Herstellung von Silizium-Blöcken umfassend:a) einen Behälter (1) zur Aufnahme einer Silizium-Schmelze (2) miti. einem von einer Bodenwand (13) und mindestens einer Seitenwand (14) begrenzten Innenraum (12),ii. einer Einfüll-Öffnung (15) undiii. einer Beschichtung (16), welche zumindest auf einer dem Innenraum (12) zugewandten Seite der mindestens einen Seitenwand (14) angeordnet ist,b) eine Abdeckung (4; 4a; 4b; 4c) zum teilweisen Abdecken des Innenraums (12),c) eine Spülgas-Einrichtung (29) zur Erzeugung einer Spülgas-Strömung im Behälter (1) miti. mindestens einem in der Abdeckung (4; 4a; 4b; 4c) angeordneten Spülgas-Einlass (6) zur Einleitung eines Spülgases (26) in den Innenraum (12) undd) Mittel (7; 33; 33c; 33d; 38) zur Verlangsamung der Abdampf-Kinetik der Beschichtung (16),e) wobei die Mittel (7; 33; 33c; 33d; 38) zur Verlangsamung der Abdampf-Kinetik der Beschichtung (16) strömungs-beeinflussende Mittel zur Verringerung der Strömungsgeschwindigkeit der Spülgas-Strömung in einem vorbestimmten Bereich entlang der Seitenwand (14) umfassen,f) dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (33; 33c; 33d) zur Verlangsamung der Abdampf-Kinetik der Beschichtung (16) strömungs-beeinflussende Mittel zur Erzeugung eines Totraums (32) in einem vorbestimmten Bereich entlang der Seitenwand (14) umfassen. Device (3) comprises: (a) a container (1) for receiving silicon melt (2) comprising one internal space (12) limited from bottom wall and at least one side wall, a filling opening, and a coating that is arranged at least on one of the internal space facing side of the at least one side wall; (b) a covering for partially covering internal space; (c) a purge gas device for producing purge gas flow in container comprising a purge gas inlet (6) for introducing purge gas into the internal space arranged in the covering; and (d) a means for slowing down exhaust steam steam-kinetics of the coating. An independent claim is also included for producing silicon blocks comprising (a) providing the container comprising internal space that is filled up to a triple-dotted line with the silicon melt and covering for partially covering the internal space, (b) introducing the purge gas into the internal space for producing the purge gas-flow in the region over the silicon melt, and (c) slowing the exhaust steam-kinetics of the coating in the region of the triple-point line by flow-influencing means.