Substratbehandlungsanlage

• Main Authors: JAEGER, REINHARD, STRÜMPFEL, JOHANNES, WOLF, ANDREJ, WAYDBRINK, HUBERTUS VON DER
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 02.10.2014
• Subjects: CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; COLORIMETRY; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; GLASS; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TESTING

Substratbehandlungsanlage zur Behandlung von Substraten (2) im Durchlaufverfahren in einer Transportrichtung (3), umfassend mindestens eine von Kammerwänden (11, 13, 14, 15) begrenzte Anlagenkammer (1), wobei die Anlagenkammer (1) oder Anordnung von Anlagenkammern (1) eine Eingangsschleuse und eine Ausgangsschleuse aufweist und in der Anlagenkammer (1) eine Transporteinrichtung zum Transport von Substraten (2) in einer Transportebene angeordnet ist, die eine Anordnung von horizontalen, quer zur Transportrichtung (3) angeordneten, drehbaren Transportwalzen (6) aufweist, welche die Transportebene definieren, mit mindestens einer Substratbehandlungseinrichtung (4) und mindestens einem Pyrometer (7) zur Bestimmung der Substrattemperatur, dadurch gekennzeichnet, dass im Innern der mindestens einen Anlagenkammer (1) ein Schutzrohr (8) angeordnet ist, welches sich vom Pyrometer (7) aus von einer unteren Kammerwand (15) unter einem von 90° verschiedenen Winkel zur Transportebene bis zwischen zwei benachbarte Transportwalzen (6) auf ein Substrat (2) zu erstreckt.