Anordnung zur Belüftung einer Ausgangsschleuse in einer Vakuumbehandlungsanlage

• Main Author: KLOOS, MATTHIAS
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 12.07.2012
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Anordnung zur Belüftung einer Ausgangsschleuse in einer Vakuumbehandlungsanlage, die Versteifungselemente (11, 12) und eine mit diesen verbundene, einen Vakuumraum bildende Wandung (5) aufweist, in der die Ausgangsschleuse (6) mit einem Belüftungsflansch (7) versehen ist, mit einer Luftführung, die mit einer Seite mit dem Belüftungsflansch (7) und mit der anderen Seite mit einer Gasquelle verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Luftführung als Luftführungskanal (8) ausgebildet ist, dass der Luftführungskanal (8) aus einem wärmeleitenden Material besteht und in wärmeleitender Verbindung mit der Wandung (5) der Vakuumbehandlungsanlage (1) steht, dass ein Versteifungselement (12) als Luftführungskanal (8) ausgebildet ist, dass das Versteifungselement (12) als Hohlprofil ausgebildet und mit zwei Öffnungen versehen ist, zwischen denen das Hohlprofil einen durchgängigen geschlossenen Raum bildet und die eine Öffnung mit dem Belüftungsflansch (7) und die andere Öffnung mit der Gasquelle verbunden ist und die Vakuumbehandlungsanlage (1) als zwischen einer Eingangsseite und einer Ausgangsseite längserstreckte Vakuumbehandlungsanlage (1) ausgebildet ist,...