Vakuumbeschichtungsanlage in modularer Bauweise

• Main Authors: STRUEMPFEL, JOHANNES, KLOOS, MATTHIAS, WOLF, ANDREJ, SMOLKE, MATTHIAS
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 15.12.2011
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Der Erfindung, die eine Vakuumbeschichtungsanlage in modularer Bauweise mit mehreren funktionalen Kammern betrifft, die in einer Längerstreckung, in der Substrate in einem Substrattransportbereich durch die Kammern bewegt werden, hintereinander liegend angeordnet sind, liegt die Aufgabe zugrunde, den Herstellungs- und Installationsaufwand bei Medienversorgungen von Vakuumbeschichtungsanlagen zu senken. Dies wird dadurch gelöst, dass eine funktionale Kammer als erstes Teilmodul in einem Modul angeordnet ist, das mit einer für mindestens ein zweites Modul gleichen äußeren Schnittstelle versehen ist. A modular-construction vacuum-coating system includes a plurality of functional chambers arranged one behind the other along a longitudinal extent in which substrates are moved through the chambers in a substrate-transporting region. To lower the production-related and installation-related outlay involved in supplying media, a functional chamber, as a first submodule, is arranged in a first module and provided with an outer interface which is the same for at least a second module.