Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung eines Elektronenstrahldurchmessers

• Main Authors: BUERGER, ANDREAS, SCHMIDT, AXEL
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 29.12.2011
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FUSION REACTORS; MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION; MEASURING; NUCLEAR ENGINEERING; NUCLEAR PHYSICS; PHYSICS; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS; TESTING

Die Erfindung betrifft eine Drahtsensoranordnung zur Messung der Strahlqualität eines Elektronenstrahls, insbesondere zur Ermittlung eines Elektronenstrahldurchmessers. Die Vorrichtung umfasst wenigstens einen elektrisch gegenüber einer Bodenplatte fest angeordneten Draht als Drahtsensor sowie ein Mittel zur Weiterleitung eines Messsignals an eine Auswerteeinheit. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Messung des Durchmessers eines Elektronenstrahls wird der zu vermessende Elektronenstrahl mit einer konstanten Geschwindigkeit senkrecht über den Messdraht geleitet. Die dadurch in dem Messdraht erzeugten Spannungsabfälle werden über einen definierten Widerstand in die Auswerteeinheit übertragen. Das zeitabhängige Messsignal des Messdrahtes wird mit Hilfe der Geschwindigkeit des Elektronenstrahls in ein ortsabhängiges Messsignal umgewandet und aus den ortsabhängigen Messsignalen des Messdrahtes wird der Strahldurchmesser des Elektronenstrahls bestimmt. Die Geschwindigkeit des Elektronenstrahls ist dabei entweder bekannt oder kann je nach Ausführungsform des Verfahrens und der verwendeten Vorrichtung über einen Vergleich der zeitgleich aufgenommenen Messsignale wenigstens zweier Drähte, unter Zuhilfenahme des Abstandes dieser beiden Drähte, ermittelt werden.