Ein Verfahren zum Herstellen eines Bauelements auf einem Substrat

• Main Authors: NICKUT, PATRICIA, ADLER, JOERG, JALICS, CHRISTOF, GOELLNER, REINHARD, SCHEST, TANJA, OBERNHUBER, SANDRA, HOECKELE, UWE, PREIS, WALTER
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 14.10.2010
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Ein Verfahren zum Herstellen eines Bauelements auf einem Substrat umfasst die Schritte des Bildens einer Schichtstruktur auf dem Substrat, des Bildens einer Hilfsschicht auf der Schichtstruktur, des Bildens einer Planarisierungsschicht auf der Hilfsschicht und auf dem Substrat, des Freilegens der Hi...