Mikromechanisches Bauteil für eine Hall-Sensorvorrichtung und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil für eine Hall-Sensorvorrichtung

• Main Author: Benzel, Hubert
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 20.07.2017
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TESTING; TRANSPORTING

Mikromechanisches Bauteil für eine Hall-Sensorvorrichtung mit: - einem Halbleitersubstrat (54); und - einem an einem Halbleiterbereich (56) ausgebildeten Hallelement mit Stromversorgungskontakten (20a) und Spannungskontakten (22a), welche derart ausgelegt sind, dass mittels der Stromversorgungskontakte (20a) ein Stromfluss durch den Halbleiterbereich (56) anlegbar ist und mittels der Spannungskontakte (22a) eine Spannungsinformation bezüglich einer an dem Halbleiterbereich (56) anliegenden Hallspannung abgreifbar ist; wobei in dem Halbleitersubstrat (54) eine Kaverne (52) ausgebildet ist und der Halbleiterbereich (10, 56) an/in einem Peripheriebereich der Kaverne (52) angeordnet ist, wobei der Halbleiterbereich (10, 56) über mindestens ein die Kaverne (52) zumindest teilweise überspannendes Halteelement (58) mit dem Halbleitersubstrat (54) verbunden ist, und wobei das mindestens eine Halteelement (58) mindestens einen einstückig mit dem Halbleiterbereich (56) und dem Halbleitersubstrat (54) ausgebildeten Haltesteg (58) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Haltesteg (58) einen über der Kaverne (52) angeordneten und/oder die Kaverne (52) teilweise abdeckenden Bereich umfasst, welcher in einen ersten Teilbereich (58a) mit einer ersten Mittellängsachse (58c) und in einen zweiten Teilbereich (58b) mit einer zu der ersten Mittellängsachse (58c) geneigt ausgerichteten zweiten Mittellängsachse (58d) unterteilbar ist.