Mikromechanisches Bauelement mit Wippenstruktur

• Main Authors: Classen, Johannes, Koc, Mariusz, Hattass, Mirko
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 29.09.2022
• Subjects: INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; TESTING; TRANSPORTING

Mikromechanisches Bauelement, aufweisend:eine Elektrode (131, 132), undeine Wippenstruktur (140, 150) als Gegenelektrode zu der Elektrode (131, 132),wobei die Wippenstruktur (140, 150) ein drehbares Trägerelement (143, 153) und ein auf dem Trägerelement (143, 153) angeordnetes Massenelement (147, 157) zum Erzeugen einer Massenasymmetrie in Bezug auf einen Drehpunkt (D) aufweist, dadurch gekennzeichnet,dass die Wippenstruktur (140, 150) zusätzlich zu dem Massenelement (147, 157) wenigstens ein auf dem Trägerelement (143, 153) angeordnetes Elektrodenelement (145, 155, 156) zum Bereitstellen einer Hilfskapazität aufweist, um einer Kapazitätsänderung zwischen der Elektrode (131, 132) und der Wippenstruktur (140, 150) infolge einer auf das Bauelement (100, 101) einwirkenden Querbeschleunigung entgegen zu wirken. The component (100) has compensator structures (140) serving as a counter electrode and comprising mass elements (147) arranged on a supporting element (143). The mass elements produce a mass asymmetry in relation to a rotary point (D). The compensator structures comprise electrode elements (145) that are arranged on the supporting element for providing parasitic capacitance or auxiliary capacitance to contrary cause capacitance change between electrodes (131, 132) and the compensator structures due to transverse acceleration that acts on the component.