Mikromechanischer Drehratensensor

Es wird ein mikromechanischer Drehratensensor (100, 200, 300, 400, 500) bereitgestellt, aufweisend: ein erstes Drehratensensorelement (20), welches ein erstes Sensorsignal (S) ausgibt, das eine Information über eine Drehung um eine erste Drehachse enthält, ein zweites Drehratensensorelement (30), we...

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Bibliographic Details
Main Authors OHMS, TORSTEN, HAUER, JOERG, WREDE, MARTIN, BALSLINK, THORSTEN, GECKELER, CARSTEN, MEISEL, DANIEL CHRISTOPH, CLASSEN, JOHANNES, KUHLMANN, BURKHARD, FREY, JENS
Format Patent
LanguageGerman
Published 27.01.2011
Subjects
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