Mikromechanischer Drehratensensor

• Main Authors: OHMS, TORSTEN, HAUER, JOERG, WREDE, MARTIN, BALSLINK, THORSTEN, GECKELER, CARSTEN, MEISEL, DANIEL CHRISTOPH, CLASSEN, JOHANNES, KUHLMANN, BURKHARD, FREY, JENS
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 27.01.2011
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

Es wird ein mikromechanischer Drehratensensor (100, 200, 300, 400, 500) bereitgestellt, aufweisend: ein erstes Drehratensensorelement (20), welches ein erstes Sensorsignal (S) ausgibt, das eine Information über eine Drehung um eine erste Drehachse enthält, ein zweites Drehratensensorelement (30), welches ein zweites Sensorsignal (S) ausgibt, das eine Information über eine Drehung um eine zweite Drehachse enthält, die senkrecht auf der ersten Drehachse steht, einen Antrieb (10), der das erste Drehratensensorelement (20) antreibt, und ein Kopplungsglied (40), welches das erste Drehratensensorelement (20) und das zweite Drehratensensorelement (30) mechanisch miteinander koppelt, so dass ein Antreiben des ersten Drehratensensorelements (20) auch ein Antreiben des zweiten Drehratensensorelements (30) bewirkt. A micromechanical yaw-rate sensor comprising a first yaw-rate sensor element, which outputs a first sensor signal, which contains information about a rotation around a first rotational axis, a second yaw-rate sensor element, which outputs a second sensor signal, which contains information about a rotation around a second rotational axis, which is perpendicular to the first rotational axis, a drive, which drives the first yaw-rate sensor element, and a coupling link, which mechanically couples the first yaw-rate sensor element and the second yaw-rate sensor element to one another, so that driving of the first yaw-rate sensor element also causes driving of the second yaw-rate sensor element.