Drive unit for transport device of vacuum processing system, has traction element guided around two deflecting rollers, where traction element comprises continuous stainless steel strip

• Main Authors: WILLKOMMEN, UDO, KENNE, MARCO, HENTSCHEL, MICHAEL, WAYDBRINK, HUBERTUS VON DER
• Format: Patent
• Language: English; German
• Published: 15.04.2010
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; CONVEYING; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

The drive unit has a traction element (4) guided around two deflecting rollers (2), where the traction element comprises a continuous stainless steel strip. The traction element has circular perforations that are evenly spaced apart in longitudinal direction of the traction element, where two of the perforations are provided side by side in transverse direction of the traction element. Each deflecting roller has cylindrical nubs uniformly distributed over a periphery of the deflecting roller, so that the nubs mesh with the perforations. Independent claims are also included for the following: (1) a vacuum processing system comprising a vacuum chamber (2) a transport device comprising a storage unit. Die Erfindung betrifft Ausgestaltungen einer Transportvorrichtung für eine Vakuumprozessanlage, einer Antriebseinrichtung für Hochtemperaturprozesse in Vakuumprozessanlagen, und eine Vakuumprozessanlage mit einer derartigen Antriebseinrichtung. Die Lösung der Aufgabe, eine Antriebseinrichtung, insbesondere für eine Anlagenkomponente einer Vakuumprozessanlage, zu entwickeln, welche polygoneffektfrei arbeitet, sich endlos verbinden lässt, für hohe Temperaturen geeignet ist, unempfindlich gegen Strahlungswärme ist, keine Ausgasung erzeugt und keinen Schmierstoff benötigt, wird durch eine Antriebseinrichtung für eine Anlagenkomponente einer Vakuumprozessanlage erreicht, welche ein um mindestens zwei Umlenkrollen (2) geführtes Zugmittel (4) umfasst, wobei das Zugmittel (4) ein endloses Metallband ist.