Piezoelektrischer Energiewandler mit Anschlag und Verfahren zur Herstellung

• Main Author: Hortig, Michael
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 14.07.2022
• Subjects: INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TESTING; TRANSPORTING

Mikromechanisches Wandlerelement zur Erfassung einer physikalischen Größe, in Abhängigkeit von der Durchbiegung eines mit Piezowiderständen ausgestatteten Biegebalkens (110), wobei sich der Biegebalken (110) beim Anlegen einer Spannung an die Piezowiderstände durchbiegt,wobei dem Biegebalken (110) ein erstes Anschlagselement (140) zugeordnet ist, gegen das sich der Biegebalken (110) beim Anlegen einer Spannung oberhalb einer Grenzspannung drückt,dadurch gekennzeichnet, dassdie Oberflächenform des ersten Anschlagselements (140) an dieOberflächenform des Biegebalkens (110) wie ein Negativ angepasst ist. The micro mechanical transducer element has a beam that deflects itself while applying voltage to the piezoresistors. A stop element (140) is attached to the beam, where the beam pushes itself against the stop element while applying of voltage above a cut-off voltage. An independent claim is also for a method for manufacturing a micro mechanical transducer element.