Sensoranordnung zur Differenzdruckmessung

• Main Authors: NITSCHE, HEIKO, HAAG, FRIEDER, OCHS, ERIC, BENZEL, HUBERT, HENZLER, STEPHAN
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 26.04.2012
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

Sensoranordnung (40) zur Differenzdruckmessung mit mindestens - einem Sensorelement (50) mit einem ersten Bereich (51) und einem sensitiven Bereich (52), das auf einem Träger (55) angeordnet ist, wobei - der sensorische Bereich (52) des Sensorelements (50) mindestens eine Membran (53) aufweist, die sowohl von der Oberseite als auch von der Rückseite des Sensorelements (50) zugänglich ist, und - der Träger (55) im Bereich unterhalb der Membran (53) eine Zugangsöffnung (56) aufweist, und - einem Moldgehäuse (30), in das der erste Bereich (52) des Sensorelements (51) und des Trägers (55) eingebettet ist, wobei - das Moldgehäuse (30) mindestens eine Durchgangsöffnung (31) als Zugangsöffnung für den sensitiven Bereich (52) des Sensorelements (20) aufweist, wobei das Sensorelement (50) mit seinem sensitiven Bereich (52) in die Durchgangsöffnung (31) des Moldgehäuses (30) hineinragt und - das Sensorelement (50) und der Träger (55) im Bereich der Durchgangsöffnung... The arrangement (10) has a sensor element (20) arranged on a support (25). A region (21) of the sensor element and the support is embedded in a molded housing (30). The molded housing has a flowthrough opening (31) as an access opening for a sensitive region (22) of the sensor element. The support extends over the entire cross section of the flowthrough opening and is embedded in a boundary region of the flowthrough opening in the molded housing. The sensor element and the support are connected using an adhesive joint.