Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturmessung an zu beschichtenden Substraten

• Main Authors: HEISIG, ANDREAS, MEYER, THOMAS
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 25.06.2009
• Subjects: APPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; MEASURING; MEASURING QUANTITY OF HEAT; MEASURING TEMPERATURE; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TESTING; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; TRANSPORTING

Bei einem Verfahren zur Temperaturmessung an einem zu beschichtenden Substat, bei dem die Temperatur des Substrats während der Beschichtung durch einen Temperatursensor ermittelt und der so ermittelte Temperaturwert an eine Messeinrichtung weitergeleitet wird, wird vorgeschlagen, dass der Temperatursensor an einer der zu beschichtenden Oberfläche abgewandten Seite des Substrats so angeordnet wird, dass eine Beschichtung des Temperatursensors ausgeschlossen ist.