Verfahren zur Temperaturführung in einem Diffusionsofen

• Main Authors: KOECKERT, CHRISTOPH, ALBERTS, VIVIAN, HECHT, HANSRISTIAN, WILLKOMMEN, UDO
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 08.10.2009
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BLASTING; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES; CRYSTAL GROWTH; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUSMETALS OR ALLOYS; HEATING; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; LIGHTING; MAKING METAL MALLEABLE BY DECARBURISATION, TEMPERING OR OTHERTREATMENTS; MECHANICAL ENGINEERING; METALLURGY; METALLURGY OF IRON; MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; REGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION; SEMICONDUCTOR DEVICES; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; SINGLE-CRYSTAL-GROWTH; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; WEAPONS

Der Erfindung, welche ein Verfahren zur Temperaturführung in einem Diffusionsofen betrifft, bei welchem Substrate im Diffusionsofen erwärmt und abgekühlt werden, liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Temperaturführung in einem Diffusionsofen anzugeben, mit welchem der Zeitbedarf zum Aufheizen der Substrate verringert werden kann. Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass der mittlere Anstieg $I1 größer ist als der erste mittlere Anstieg $I2 des ersten linearen oder nichtlinearen Temperatur-Zeit-Funktionsverlaufs und dass der erste Sollwert T1 zumindest für eine Zeitdauer t3 überschritten wird.