Sampling and evaluation method for multi-wavelength frequency scanning interferometer, involves utilizing sampling frequencies to sample blocks of sampling points, and determining resultant signal frequency height values

• Main Authors: TRITTLER, STEFAN, WIELER, MATTHIAS
• Format: Patent
• Language: English; German
• Published: 14.08.2008
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

The method involves acquiring an image of an object in an interferometer arrangement with a reference image for interference to measure object surfaces. The object surfaces are sampled one after another with various frequencies. Sampling frequencies having unequal frequency separations are utilized for sampling a set of blocks of sampling points (10). Resultant signal frequency height values in a multi-level process are determined. Die Erfindung betrifft ein Abtast- und Auswerteverfahren für einen Mehrwellenlängen-Interferometer, bei dem zur Vermessung einer Objektoberfläche ein Bild des Objektes in einer Interferometeranordnung mit einem Referenzbild zur Interferenz gebracht und die Objektoberfläche nacheinander mit verschiedenen Frequenzen abgetastet wird, wobei zur Abtastung mehrere Blöcke von Abtastpunkten, den Abtastfrequenzen, verwendet werden, die ungleiche Frequenzabstände aufweisen, und die resultierenden Signalfrequenzhöhenwerte in einem mehrstufigen Verfahren ermittelt werden. Mit diesem Verfahren und den Verfahrensvarianten kann durch Optimierung der Abtastung und eine daran angepasste Signalauswertung bei diesem frequenzscannenden Interferometer eine genaue und robuste Höhenabtastung realisiert werden, die zudem im Vergleich zum Stand der Technik einen deutlichen Geschwindigkeitsvorteil bietet.