Frequency, phase and amplitude determining method for e.g. frequency-scanning interferometry, involves accomplishing common adjustment and optimization of correction table, window function and/or interpolation

• Main Authors: TRITTLER, STEFAN, WIELER, MATTHIAS
• Format: Patent
• Language: English; German
• Published: 14.08.2008
• Subjects: COLORIMETRY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

The method involves filtering input data with a window function, and accomplishing an evaluation of the input data by a fast fourier transformation (FFT). Situation of maximum of an amount of FFT-coefficient is determined, and an interpolation with help of the FFT-coefficient is accomplished. A frequency-dependant correction table is introduced, and a common adjustment and optimization of the correction table, the window function and/or the interpolation are accomplished. A linear correction is accomplished in dependence of estimated frequency. Die Erfindung betrifft ein Auswerteverfahren zur Bestimmung einer Frequenz, einer Phase und einer Amplitude bei verrauschten, sinusförmigen Signalen mit vergleichsweise wenigen, äquidistanten Abtastpunkten, wobei die Eingangsdaten zunächst mit einer Fensterfunktion gefiltert, eine Berechnung mittels schneller Fouriertransformation FFT sowie eine Bestimmung der Lage des Maximums des Betrags der FFT-Koeffizienten und eine Interpolation mit Hilfe der dem Maximum benachbarten FFT-Koeffizienten durchgeführt werden, wobei zusätzlich eine frequenzabhängige Korrekturtabelle eingeführt und eine gemeinsame Anpassung bzw. Optimierung der Korrekturtabelle, der Fensterfunktion und/oder der Interpolation durchgeführt wird. Dadurch wird ein besonders schnelles Auswerteverfahren von Frequenz, Phase und Amplitude mit hoher Genauigkeit ermöglicht, welches insbesondere in der frequenzscannenden Interferometrie vorteilhaft angewendet werden kann.