Drehratensensor

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem beweglichen Element (8), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (9) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist und das entl...

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Main Authors HAUER, JOERG, KEHR, KERSTEN, GOMEZ, UDO-MARTIN, KUHLMANN, BURKHARD
Format Patent
LanguageGerman
Published 19.06.2008
Subjects
GYROSCOPIC INSTRUMENTS
MEASURING
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS
NAVIGATION
PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
PHYSICS
SURVEYING
TESTING
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Summary:Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem beweglichen Element (8), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (9) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist und das entlang einer zweiten Achse (z) unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Kompensationseinrichtung (15, 16), die eingerichtet ist, unerwünschte Schwingungen des beweglichen Elements (8) entlang der zweiten Achse (z) zu kompensieren, die durch die Antriebseinrichtung (9) hervorgerufen werden. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehratensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
Bibliography:Application Number: DE20061058746