Anordnung zur Erzeugung von EUV-Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas

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Main Authors GEIER, ALEXANDER, EBEL, HARALD, GOETZE, SVEN
Format Patent
LanguageGerman
Published 25.03.2010
Subjects
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
X-RAY TECHNIQUE
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Bibliography:Application Number: DE20061022823