Verfahren zur Herstellung von Ladungseinfang-Speicherbauelementen

• Main Authors: LUDWIG, CHRISTOPH, KRAUSE, MATHIAS, SCHLEY, JAN-MALTE, WEIN, GUENTER, ISLER, MARK, SACHSE, JENS-UWE, MACHILL, STEFAN, DEPPE, JOACHIM
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 21.02.2013
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Verfahren zur Herstellung von Ladungseinfang-Speicherbauelementen, bei dem - in einem ersten Schritt auf eine Hauptseite eines Substrats (1) in einem für ein Array von Speicherzellen vorgesehenen Bereich eine Speicherschichtfolge (3), bestehend aus einer unteren Begrenzungsschicht (31), einer Speich...