Verfahren zur Herstellung von Ladungseinfang-Speicherbauelementen
Verfahren zur Herstellung von Ladungseinfang-Speicherbauelementen, bei dem - in einem ersten Schritt auf eine Hauptseite eines Substrats (1) in einem für ein Array von Speicherzellen vorgesehenen Bereich eine Speicherschichtfolge (3), bestehend aus einer unteren Begrenzungsschicht (31), einer Speich...
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Format | Patent |
Language | German |
Published |
21.02.2013
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