Schmalbandiger Excimerlaser mit einem Gitter-Prisma als linienverschmälerndes optisches Element

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Main Authors KLEINSCHMIDT, JUERGEN, SCHROEDER, THOMAS
Format Patent
LanguageGerman
Published 22.11.2001
Edition7
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
DEVICES USING STIMULATED EMISSION
ELECTRICITY
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
PHYSICS
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Bibliography:Application Number: DE2000181744T