Mikroskop mit einem Elektronenstrahl zur Beleuchtung

• Main Author: HOHN, FRITZ JUERGEN
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 06.09.2001
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

Das Mikroskop (2) ist im wesentlichen dem Aufbau eines herkömmlichen Mikroskops ähnlich. Das Mikroskop (2) besteht aus einem Fußelement (4), auf dem eine Säule (6) aufsitzt. An der Säule (6) ist ein Arm (8) befestigt oder angeformt. In der Nähe des vorderen Endes (10) des Arms (8) befindet sich eine optische Einheit (12), die eine optische Achse (16) festlegt. Eins oder mehrere der am Revolver (20) befestigten Objektive (18) oder (22) sind als sogenannte Objektive für die Rasterelektronenmikroskopie ausgebildet (Elektronenstrahlobjektive). Die Größe der Elektronenstrahlobjektive ist mit der Größe der Objektive für herkömmliche Mikroskope vergleichbar. Durch die Anordnung der Objektive (18) und (22) auf einem Revolver (20), einem Schieber oder einem anderen mechanischen und/oder elektromechanischen Bauteil kann schnell und einfach zwischen den verschiedenen Vergrößerungen oder Beleuchtungsarten gewechselt werden. The microscope has an optical axis (16) defined by an optical unit (12) with at least one objective for arrangement on the optical axis as an electron beam objective. Several objectives (18,22) are arranged on a revolver (20), whereby at least one objective is in the form of an electron beam objective. The electron beam objective is in the form of an electron microscopic column arranged in a housing symmetrically about the optical axis.