Merkmalbasierende Feststellung von Fehlern
Es werden Verfahren und Einrichtungen zur Verfügung gestellt, um ein gemustertes Substrat zu untersuchen, mit: Erzeugung eines Bezugsbildes und eines Testbildes, Herausziehen von Merkmalen aus dem Bezugsbild und Herausziehen von Merkmalen aus dem Testbild, Anpassung von Merkmalen des Bezugsbildes un...
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Format | Patent |
Language | German |
Published |
31.01.2013
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