Device for creating and placing a lamella

• Main Authors: Denisyuk, Andrey, Doležel, Pavel
• Format: Patent
• Language: Czech; English
• Published: 09.10.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Zařízení pro vytvoření a uložení lamely obsahuje fokusovaný iontový svazek, skenovací elektronový mikroskop, stolek pro umístění alespoň dvou vzorků umožňující náklon, rotaci a posun vzorku, dále obsahuje manipulátor zakončený jehlou pro uchycení a přenesení vzorku. Manipulátor je umístěný v rovině kolmé k ose náklonu vzorku, čímž umožňuje snadné přenesení a uložení lamely do držáku vzorku pro transmisní elektronový mikroskop, tzv. mřížky. Manipulátor je uzpůsoben rotování jehlou kolem vlastní osy. V případě tvorby lamely z polovodičového zařízení tím umožňuje obrácení lamely a její dolešťování přes vrstvu polovodičového substrátu, na kterém je polovodičová struktura vytvořena. The device for forming and receiving a lamella containing a focused ion beam, a scanning electron microscope, a stage for receiving at least two samples that can tilt, rotate and displace the sample, and a needle-tipped manipulator for receiving and transferring the sample. The manipulator is in a plane perpendicular to the tilt axis of the sample for easy transfer and placement of the lamella into the sample holder for a transmission electron microscope, the so-called grid. The manipulator is adapted to rotate the needle about its own axis. If the lamella is formed from a semiconductor device, it thus enables the lamella to be reversed and polished over the layer of the semiconductor substrate on which the semiconductor structure is created.