一种基于珀尔帖效应的气体传感器

• Format: Patent
• Language: Chinese
• Published: 07.04.2023
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

本实用新型公开了一种基于珀尔帖效应的气体传感器，所述气体传感器包括衬底层、设于衬底层上的介电层以及设于介电层上的至少一组珀尔帖效应单元；所述珀尔帖效应单元包括分设于介电层两侧的珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元；所述珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元顶面设有绝缘层，所述绝缘层顶面分别设有与珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元对应的气敏电极以及分别加工在气敏电极上的第一气敏材料层、第二气敏材料层。本实用新型在气敏电极下方合理布置珀尔帖效应单元结构，实现不同气敏电极检测区的温度精确选择和控制，提高传感器准确性和稳定性；温控结构具有工艺兼容、体积小、响应速度快、调理电路简单、高精度控温、多温区控温等优点。