一种直线等离子体实验装置

本实用新型公开一种直线等离子体实验装置,包括等离子体源、等离子体源室、辅助加热室、靶室、材料分析交换室和送样单元,等离子体源室、辅助加热室、靶室和材料分析交换室均连接有分子泵;等离子体源、等离子体源室、辅助加热室和靶室的外部均设置磁体线圈;辅助加热室内设置天线,天线连接有加热电源,天线为能够允许等离子束穿过的环形,天线固定于辅助加热室的内壁上。本实用新型的直线等离子体实验装置,具备等离子体实验功能,在等离子体源室与靶室之间设置了辅助加热室,能够对等离子体源产生的等离子体进行二次加热,提供的环境能够充分研究等离子体在整个刮削层和偏滤器中的输运、脱靶、杂质注入和粒子再循环等物理过程。...

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Format Patent
LanguageChinese
Published 06.04.2021
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Summary:本实用新型公开一种直线等离子体实验装置,包括等离子体源、等离子体源室、辅助加热室、靶室、材料分析交换室和送样单元,等离子体源室、辅助加热室、靶室和材料分析交换室均连接有分子泵;等离子体源、等离子体源室、辅助加热室和靶室的外部均设置磁体线圈;辅助加热室内设置天线,天线连接有加热电源,天线为能够允许等离子束穿过的环形,天线固定于辅助加热室的内壁上。本实用新型的直线等离子体实验装置,具备等离子体实验功能,在等离子体源室与靶室之间设置了辅助加热室,能够对等离子体源产生的等离子体进行二次加热,提供的环境能够充分研究等离子体在整个刮削层和偏滤器中的输运、脱靶、杂质注入和粒子再循环等物理过程。
Bibliography:Application Number: CN202022290972U