STM针尖增强光信号空间成像装置及其成像方法

• Format: Patent
• Language: Chinese
• Published: 06.04.2021
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

本发明提供一种STM针尖增强光信号空间成像装置及其成像方法，其中的装置包括激光器、STM针尖、针尖压电位移台、样品台、光谱仪、锁相放大器和前置放大器，样品台用于承载测试样品并带动测试样品移动；激光器用于发出激光束并聚焦于测试样品表面形成光斑；STM针尖垂直于测试样品表面并指向光斑的中心；针尖压电位移台用于驱动STM针尖垂直于测试样品表面做高频振动，在测试样品表面诱导出增强光信号；光谱仪用于采集测试样品表面的光信号并转换电信号；前置放大器用于对光谱仪转换成的电信号进行放大；锁相放大器用于从前置放大器放大后的电信号中提取出与增强光信号同频的信号，获得二维空间成像。本发明能够消除背景光信号，实现增强光信号的提取。