TESTING DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUITS ON A WAFER

• Main Authors: KUUKKALA, ARI, JUNES, AKI, SALMINEN, TIMO, HENTTONEN, VESA, MANNINEN, MATTI, ROSCHIER, LEIF, GUNNARSSON, DAVID
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.11.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A testing device for electrically testing integrated circuits on a wafer. The testing device comprises a vacuum chamber, a chuck for holding the wafer, a probe card for electrically contacting the integrated circuits, means for moving the chuck relative to the probe card, a first radiation shield arranged inside the vacuum chamber and enclosing the chuck and the probe card, and a cooling unit thermally connected to the first radiation shield. The means for moving the chuck relative to the probe card comprises a supporting column a first end and a second end, the first end of the supporting column being attached to the chuck, and the first radiation shield comprises a first fixed part having a first aperture through which the supporting column is arranged to pass, and a first movable part that is attached to the supporting column and arranged to cover the first aperture. Il est décrit un dispositif de mise à l'essai pour la mise à l'essai électrique de circuits intégrés sur une tranche. Le dispositif de mise à l'essai comprend une boîte à vide, un mandrin pour le maintien de la tranche, une carte sonde pour la connexion électrique des circuits intégrés, un moyen de déplacement du mandrin par rapport à la carte sonde, un premier écran antiradiation disposé à l'intérieur de la boîte à vide et renfermant le mandrin et la carte sonde, et un refroidisseur d'air relié thermiquement au premier écran antiradiation. Le moyen de déplacement du mandrin par rapport à la carte sonde comprend une colonne de support, une première extrémité et une deuxième extrémité, la première extrémité de la colonne de support étant fixée au mandrin, et le premier écran antiradiation comprenant une première partie fixe ayant une première ouverture à travers laquelle la colonne de support est disposée, et une première partie mobile qui est fixée à la colonne de support et disposée pour couvrir la première ouverture.