THREE-DIMENSIONAL SURFACE POTENTIAL DISTRIBUTION MEASUREMENT SYSTEM

A three-dimensional surface potential distribution measurement system for measuring a surface potential of a measurement object comprises: a laser light source; a Pockels crystal exhibiting Pockels effect in which a refractive index changes depending on potential difference between the first end sur...

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Main Authors KUMADA, AKIKO, TSUBOI, YUICHI, IKEDA, HISATOSHI, FURUKAWA, MASAAKI, HIDAKA, KUNIHIKO, YOSHIMITSU, TETSUO
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 23.08.2022
Subjects
MEASURING
MEASURING ELECTRIC VARIABLES
MEASURING MAGNETIC VARIABLES
PHYSICS
TESTING
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Summary:A three-dimensional surface potential distribution measurement system for measuring a surface potential of a measurement object comprises: a laser light source; a Pockels crystal exhibiting Pockels effect in which a refractive index changes depending on potential difference between the first end surface and the second end surface; a mirror disposed so as to be attached stationarily to the second end surface of the Pockels crystal; a photodetector to detect a light intensity of the laser light corresponding to the potential difference of the Pockels crystal; a housing that holds those elements; a three-dimensional motion-driver capable of three-dimensionally moving the housing; and a driving controller that controls the three-dimensional motion-driver. L'invention concerne un système de mesure de distribution de potentiel de surface tridimensionnel (100) pour mesurer le potentiel de surface d'un objet de mesure, qui comporte une source de lumière laser, un cristal de Pockels ayant un effet de Pockels dans lequel l'indice de réfraction change en fonction d'une variation de différence de potentiel entre une première surface d'extrémité et une seconde surface d'extrémité, un miroir disposé de façon à entrer en contact avec la seconde surface d'extrémité, un photodétecteur pour détecter l'intensité de lumière laser correspondant à la différence de potentiel du cristal de Pockels, un boîtier (31) pour contenir les éléments ci-dessus, un dispositif d'entraînement en mouvement tridimensionnel (30) susceptible d'entraîner le mouvement du boîtier (31) en trois dimensions, et une unité de commande d'entraînement (50) pour commander le dispositif d'entraînement en mouvement tridimensionnel (30).
Bibliography:Application Number: CA20163013883