PURIFICATION OF CHLOROSILANES BY MEANS OF DISTILLATION AND ADSORPTION

The invention relates to method and devices for the distillation separation of a multi-component mixture, containing dichlorosilane, trichlorosilane, silicon tetrachloride and at least one boron, phosphorus or arsenic-containing impurity, in order to separate the target product trichlorosilane in th...

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Main Authors AIGNER, MAXIMILIAN, PAETZOLD, UWE, PROCHASKA, JAN
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 20.11.2018
Subjects
CHEMISTRY
COMPOUNDS THEREOF
INORGANIC CHEMISTRY
METALLURGY
NON-METALLIC ELEMENTS
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
SEPARATION
TRANSPORTING
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Summary:The invention relates to method and devices for the distillation separation of a multi-component mixture, containing dichlorosilane, trichlorosilane, silicon tetrachloride and at least one boron, phosphorus or arsenic-containing impurity, in order to separate the target product trichlorosilane in the purest form possible. The distillation columns are used with a modified separation wall technique and absorbers for separating the at least one boron, phosphorus or arsenic-containing impurity. L'invention a pour objet des procédés et des dispositifs de fractionnement par distillation d'un mélange de plusieurs constituants, contenant du dichlorosilane, du trichlorosilane, du tétrachlorure de silicium et au moins une impureté incluant du bore, du phosphore ou d'arsenic, afin de séparer le produit cible trichlorosilane sous une forme aussi pure que possible, comprenant l'utilisation de colonnes de distillation avec une technique modifiée de paroi de séparation, et d'adsorbants, pour la séparation de ladite au moins une impureté contenant du bore, du phosphore ou de l'arsenic.
Bibliography:Application Number: CA20152962511