OCT SYSTEM WITH BONDED MEMS TUNABLE MIRROR VCSEL SWEPT SOURCE

• Main Authors: ATIA, WALID A, JOHNSON, BARTLEY C, FLANDERS, DALE C, KUZNETSOV, MARK E
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 14.02.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

A microelectromechanical systems (MEMS)-tunable vertical-cavity surfaceemitting laser (VCSEL) in which the MEMS mirror is a bonded to the active region. This allows for a separate electrostatic cavity, that is outside the laser's optical resonant cavity. Moreover, the use of this cavity configuration allows the MEMS mirror to be tuned by pulling the mirror away from the active region. This reduces the risk of snap down. Moreover, since the MEMS mirror is now bonded to the active region, much wider latitude is available in the technologies that are used to fabricate the MEMS mirror. This is preferably deployed as a swept source in an optical coherence tomography (OCT) system. La présente invention concerne un laser à émission par la surface (VCSEL) réglable par un microsystème électromécanique (MEMS) dans lequel le miroir MEMS est lié à la région active. Cela permet de créer une cavité électrostatique séparée qui est extérieure à la cavité de résonance optique du laser. De plus, l'utilisation de cette configuration de cavité permet au MEMS d'être réglé en retirant le miroir de la région active. Cela réduit le risque de rupture. De plus, le miroir MEMS est désormais lié à la région active, une latitude bien plus large est disponible dans les technologies qui sont utilisées pour fabriquer le miroir MEMS. Ceci est déployé de préférence en tant que source à balayage dans un système de tomographie par cohérence optique (OCT).