MICROBOLOMETER DETECTOR WITH CENTRALLY-LOCATED SUPPORT STRUCTURE

• Main Authors: TREMBLAY, BRUNO, OULACHGAR, HASSANE
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 17.01.2017
• Subjects: COLORIMETRY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

A microbolometer detector having an improved support structure is provided. The microbolometer detector includes a substrate and a support structure including at least one post connected to and projecting substantially vertically from the substrate. The microbolometer detector also includes a platform held above the substrate and including a central region substantially vertically aligned with the at least one post of the support structure and a peripheral region surrounding the central region, the platform being supported by the support structure from the central region thereof. The microbolometer further includes at least one thermistor located in the peripheral region of the platform. A microbolometer focal plane array including a plurality of microbolometer detectors arranged in a two-dimensional array is also provided. Embodiments of the present invention are particularly well suited for supporting relatively large platforms of microbolometer detectors, particularly for far- infrared and terahertz detection and spectroscopy applications. Un détecteur microbolomètre comportant une structure de support améliorée est décrit. Il comprend un substrat et une structure de support comportant au moins un montant relié au substrat et faisant saillie sensiblement verticalement à partir de celui-ci. Le détecteur microbolomètre comprend également une plateforme maintenue au-dessus du substrat et comprenant une zone centrale alignée sensiblement verticalement avec le au moins un montant de la structure de support et une zone périphérique entourant la zone centrale, la plateforme étant supportée par la structure de support à partir de la zone centrale de celle-ci. Le microbolomètre comporte également au moins une thermistance située dans la zone périphérique de la plateforme. Une matrice à plan focal microbolomètre comportant une pluralité de détecteurs microbolomètres disposés dans une matrice bidimensionnelle est également décrite. Les modes de réalisation de la présente invention sont particulièrement aptes à supporter des plateformes de détecteurs microbolomètres relativement grandes, particulièrement pour la détection dinfrarouges lointains et de fréquences térahertz et des applications de spectroscopie.