Método para calibração de aparelhos de revestimento óptico

• Main Authors: MURPHY DARAGH, DONALD J. JR. ROLLINS
• Format: Patent
• Language: Portuguese
• Published: 06.02.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

método para calibração de aparelhos de revestimento óptico. a presente invenção refere-se a um método implementado por computador (20) de geração de dados para calibração de aparelhos de revestimento óptico configurados para aplicar revestimentos ópticos em superfícies de substratos. o método é caracterizado por: medir dados espectrais de um revestimento óptico de teste tendo uma ou mais camadas de revestimento aplicadas mediante um aparelho de revestimento óptico (12, 107, 405) em uma primeira localização; enviar um arquivo de dados de revestimento contendo os dados espectrais para uma segunda localização; comparar (26), na segunda localização, os dados espectrais medidos do revestimento óptico de teste aplicado mediante o aparelho de revestimento óptico com dados de especificação alvo do revestimento óptico de teste para o aparelho de revestimento óptico; e determinar (28), na segunda localização, fatores de correção para corrigir divergências em relação aos dados de especificação alvo para o aparelho de revestimento óptico com base na comparação dos dados espectrais medidos com os dados de especificação alvo; e receber um arquivo de dados alvo contendo os fatores de correção na primeira localização e calibrar o aparelho de revestimento óptico (12, 107, 405) ajustando pelo menos um parâmetro de operação do aparelho de revestimento óptico (12, 107, 405) com base nos fatores de correção para corrigir as divergências dos dados de especificação alvo. The invention relates to a computer-implemented method (20) of generating data for calibrating optical coating apparatuses (12) configured to apply optical coatings to surfaces of substrates: the invention is characterized by comparing (26) the measured spectral data of a test optical coating applied by an optical coating apparatus to a surface of a substrate to target specification data for the test optical coating for the optical coating apparatus and determining (28) correction factors for the process parameters of the optical coating apparatus for correcting deviations to the target specification data for the optical coating apparatus based on the comparison of the measured spectral data and the target specification data.