aparelho de inspeção sólida e método de utilização

• Main Authors: JOSEPH FRANCIS PINTO, MICHAEL S. GRAIGE, M. SHANE BOWEN, BALA MURALI K. VENKATESAN, DAJUN A. YUAN, ARTHUR PITERA, JOHN GERHARDT EARNEY
• Format: Patent
• Language: Portuguese
• Published: 02.04.2019
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

um aparelho de inspeção é fornecido que compreende um alvo óptico que inclui um material sólido hospedeiro e um material fluorescente embutido no material sólido hospedeiro. o material sólido hospedeiro tem uma energia de fônon pré-determinada hostpe. o material fluorescente exibe um nível de energia de aterramento seletiva e um nível de energia de excitação alvo (te) separado do nível de energia de aterramento por um primeiro intervalo de energia correspondente a um comprimento de onda de emissão de fluorescência de interesse. o material fluorescente tem um nível de energia mais baixo (nll) em relação ao nível de energia te. o nível de energia nll é espaçado por um segundo intervalo de energia fmeg2 abaixo do nível de energia te, em que uma relação de fmeg2 / hostpe é três ou mais. An inspection apparatus is provided that comprises an optical target including a solid host material and a fluorescing material embedded in the solid host material. The solid host material has a predetermined phonon energy HOSTPE. The fluorescing material exhibits a select ground energy level and a target excitation (TE) energy level separated from the ground energy level by a first energy gap corresponding to a fluorescence emission wavelength of interest. The fluorescing material has a next lower lying (NLL) energy level relative to the TE energy level. The NLL energy level is spaced a second energy gap FMEG2 below the TE energy level, wherein a ratio of the FMEG2/HOSTPE is three or more.