DISPOSITIVO DE EVAPORAÇÃO POR ARCO

• Main Authors: HIDEKI SHIRANE, HIROFUMI FUJII, SHINICHI TANIFUJI, HIDEAKI KAMEZAWA
• Format: Patent
• Language: Portuguese
• Published: 18.04.2023
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

É fornecido um dispositivo de evaporação por arco capaz de detectar precisamente, durante um período de tempo longo, se um alvo está ou não presente em uma posição predeterminada. O dispositivo de evaporação por arco (1) inclui um alvo em forma de barra (3) tendo uma superfície de extremidade dianteira (3a) e uma superfície lateral (3b) se estendendo axialmente e continuamente com isso e configurado para ser derretido e evaporado a partir da superfície de extremidade dianteira (3a) por meio de descarga por arco; um fornecimento de energia de arco (8); uma unidade de fornecimento de alvo (4) que desloca o alvo (3) axialmente e em uma direção de fornecimento na qual a superfície de extremidade dianteira (3a) avança; uma haste de ignição (6) tendo uma forma capaz de fazer contato com a superfície lateral (3b) do alvo (3), em uma posição predeterminada em relação à direção de fornecimento do alvo (3), em uma direção cruzando a direção de fornecimento; um acionador rotativo (7) que desloca a haste de ignição (6) ao longo da direção de cruzamento a partir de uma posição de retração ao lado da superfície lateral (3b) na direção de cruzamento para fazer a haste de ignição (6) entrar em uma região de transporte na qual o alvo (3) é fornecido; e uma unidade de detecção (9) que detecta se a haste de ignição (6) entrou ou não em contato com a superfície lateral (3b) do alvo (3) durante movimento da haste de ignição (6). Provided is an arc evaporation device capable of precisely detecting, for a long period of time, whether or not a target is present at a predetermined position. The arc evaporation device (1) includes a bar-shaped target (3) having a front end surface (3a) and a side surface (3b) extending axially and continuously therewith and configured to be melted and evaporated from the front end surface (3a) by arc discharge; an arc power supply (8); a target feed unit (4) which moves the target (3) axially and in a feed direction in which the front end surface (3a) advances; an ignition rod (6) having a shape capable of contact with the side surface (3b) of the target (3), at a predetermined position with respect to the feed direction of the target (3), in an intersecting direction intersecting the feed direction; a rotary actuator (7) which moves the ignition rod (6) along the intersecting direction from a retraction position apart from the side surface (3b) in the intersecting direction to make the ignition rod (6) enter a transport region into which the target (3) is fed; and a detection unit (9) which detects whether or not the ignition rod (6) has come into contact with the side surface (3b) of the target (3) during movement of the ignition rod (6).