transdutor ultrassônico piezoelétrico e processo

• Main Authors: EVGENI PETROVICH GOUSEV, JON BRADLEY LASITER, SURYAPRAKASH GANTI, NAI-KUEI KUO, DAVID WILLIAM BURNS, JONATHAN CHARLES GRIFFITHS, HRISHIKESH VIJAYKUMAR PANCHAWAGH, RAVINDRA VAMAN SHENOY
• Format: Patent
• Language: Portuguese
• Published: 07.11.2017
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; ELECTRICITY; FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL; GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL; METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; TRANSPORTING

trata-se de um transdutor ultrassônico micromecânico piezoelétrico (pmut) que inclui uma pilha de múltiplas camadas disposta em um substrato. a pilha de múltiplas camadas pode incluir uma estrutura de âncora disposta sobre o substrato, uma pilha de camadas piezoelétricas disposta sobre a estrutura de âncora e uma camada mecânica disposta próxima à pilha de camadas piezoelétricas. a pilha de camadas piezoelétricas pode ser disposta sobre uma cavidade. a camada mecânica pode vedar a cavidade e, junto da pilha de camadas piezoelétricas, é sustentada pela estrutura de âncora e forma uma membrana sobre a cavidade, sendo que a membrana é configurada de modo a se submeter tanto a movimentação quanto vibração flexionais, ou a uma dentre as mesmas, quando o pmut recebe ou transmite sinais acústicos ou ultrassônicos. A piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer (PMUT) includes a multilayer stack disposed on a substrate. The multilayer stack may include an anchor structure disposed over the substrate, a piezoelectric layer stack disposed over the anchor structure, and a mechanical layer disposed proximate to the piezoelectric layer stack. The piezoelectric layer stack may be disposed over a cavity. The mechanical layer may seal the cavity and, together with the piezoelectric layer stack, is supported by the anchor structure and forms a membrane over the cavity, the membrane being configured to undergo one or both of flexural motion and vibration when the PMUT receives or transmits ultrasonic signals.