PLANETARY CAROUSEL FOR DRIVING SAMPLES IN A PHYSICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE

• Main Authors: CHitanov, Vasiliy Atanasov, Pashinski, CHavdar Ognyanov, Kolchev, Stefan Dimitrov, KOLAKLIEVA, Lilyana Petrova, KAKANAKOV, Rumen Davidkov
• Format: Patent
• Language: Bulgarian; English
• Published: 15.01.2024
• Subjects: BLASTING; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GEARING; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; HEATING; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; THERMAL INSULATION IN GENERAL; WEAPONS

Полезният модел се отнася до планетен карусел за задвижване на образци в установки за физично парно отлагане и може да се използва за транспортиране на изделията по време на нанасяне на покритие върху тях. Планетният карусел може да се използва както като основен носител за всички образци, така и като допълнителна планетна степен, монтирана върху отделен сателит на основния носител. Външно устройството се състои от носеща плоча (6), която носи тежестта на зарежданите образци, върху която са монтирани сателити (7) и капак (11); върху сателитите (7) са закрепени държачи с образци, директно или чрез допълнителна планетна степен; корона (10), която е с вътрешно нарязани зъби и е зацепена със сателитите (7); капак (11), който защитава устройството от нежелано попадане на частици; щифт (12), който се заключва към носещата плоча (6) и/или короната (10) по три различни начина. The utility model relates to a planetary carousel for driving samples in physical vapor deposition units and can be used to transport the articles during coating. The planetary carousel can be used both as the main carrier for all specimens, and as an additional planetary stage mounted on a separate satellite of the main carrier. Externally, the device consists of a supporting plate (6), which bears the weight of the loaded samples, on which satellites (7) and a cover (11) are mounted; sample holders are attached to the satellites (7), either directly or via an additional planetary stage; a crown (10) which has internally cut teeth and is engaged with the satellites (7); a cover (11) that protects the device from unwanted particles; pin (12) which locks to the carrier plate (6) and/or the crown (10) in three different ways.