Magnetsystem und Sputtervorrichtung

• Main Authors: GROSSER GÖTZ, SANDER THORSTEN, SCHNEIDER KLAUS, HAUSWALD RALF
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 22.05.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Magnetsystem (100) für eine Sputtervorrichtung (300) aufweisen: ein Lagergestell (414); einen Magnetträger (102), welcher einen ersten Montagebereich (1002a) und einen zweiten Montagebereich (1002b) aufweist; eine erste Stützvorrichtung (404), welche mittels des ersten Montagebereichs (1002a) an dem Magnetträger (102) montiert ist; eine zweite Stützvorrichtung (404), welche mittels des zweiten Montagebereichs (1002b) an dem Magnetträger (102) montiert ist, wobei der erste Montagebereich (1002a) und/oder der zweite Montagebereich (1002b) derart eingerichtet sind, dass eine Lage, in welcher die erste Stützvorrichtung (404) und die zweite Stützvorrichtung (404) relativ zueinander an dem Magnetträger (102) montiert sind, verändert werden kann; wobei die erste Stützvorrichtung (404) und die zweite Stützvorrichtung (404) eingerichtet ist, mit dem Lagergestell (414) ineinander zu greifen zum Bilden einer Lagervorrichtung zum Lagerns des Magnetträgers (102). Disclosed herein are systems, methods, and devices related to a magnet system for a sputtering device. The magnet system includes a bearing frame and a magnet holder having a first mounting area and a second mounting area. The magnet system has a first support device mounted to the magnet holder by the first mounting area and a second support device mounted to the magnet holder by the second mounting area. At least one of the first mounting area and the second mounting area are configured such that a position in which the first support device and the second support device are mounted to the magnet holder relative to each other may be adjusted. The first support device and the second support device are configured to engage with the bearing frame to form a bearing device for supporting the magnet holder.