Verfahren und Testsystem zur Bewertung der Qualität einer mikrooptischen und/oder subwellenlängenoptischen Mehrkanalprojektionseinheit

• Main Authors: SCHINDLER KATRIN, NOELL WILFRIED, WESTENHÖFER SUSANNE, AGIREEN ISABEL, TOURNOIS SOPHIANE
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 05.03.2021
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; PHYSICS

Ein Verfahren zur Bewertung der Qualität einer mehrkanaligen mikro- und/oder subwellenlängenoptischen Projektionseinheit (28) ist offenbart. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Wenigstens ein vorgegebener Abschnitt der optischen Projektionseinheit (28) wird so beleuchtet, dass von wenigstens zwei Kanälen des vorgegebenen Abschnitts der mehrkanaligen optischen Projektionseinheit (28) ein Bild erzeugt wird. Anhand der Analyse des Bildes wird wenigstens eine Kenngröße bestimmt, wobei ein Wert der Kenngröße einem charakteristischen Merkmal der Projektionseinheit (28), einem Defekt der Projektionseinheit (28) und/oder einer Defektklasse der Projektionseinheit (28) zugeordnet wird. Die Qualität der Projektionseinheit (28) wird anhand der wenigstens einen Kenngröße bewertet. Des Weiteren sind ein Prüfsystem (10) zur Bewertung der Qualität einer mehrkanaligen mikro- und/oder subwellenlängenoptischen Projektionseinheit (28) sowie ein Computerprogramm offenbart. A method for assessing the quality of a multi-channel micro- and/or subwavelength-optical projection unit is disclosed. The method comprises the following steps: At least a predefined portion of the optical projection unit is illuminated so that an image is generated by at least two channels of the predefined portion of the multi-channel optical projection unit. At least one characteristic quantity is determined based on the analysis of the image, wherein a value of the characteristic quantity is associated with a characteristic feature of the projection unit, a defect of the projection unit and/or a defect class of the projection unit. The quality of the projection unit is assessed based on the at least one characteristic quantity. Moreover, a test system for assessing the quality of a multi-channel micro- and/or subwavelength-optical projection unit and a computer program are disclosed.