PROCEDE POUR LA FABRICATION DE FILMS MINCES PAR VOIE HUMIDE

L'invention se rapporte à un procédé de fabrication de films minces comprenant la préparation d'une solution comprenant des précurseurs d'oxyde de métaux de transition, un agent chélatant et un solvant organique polaire, le maintien de ladite solution sous agitation pour former un sol...

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Main Authors HEINRICHS BENOÎT, PAEZ CARLOS, ESKENAZI DAVID, CALBERG CÉDRIC, PIRARD JEAN, LIQUET DIMITRI
Format Patent
LanguageFrench
Published 12.01.2016
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Summary:L'invention se rapporte à un procédé de fabrication de films minces comprenant la préparation d'une solution comprenant des précurseurs d'oxyde de métaux de transition, un agent chélatant et un solvant organique polaire, le maintien de ladite solution sous agitation pour former un sol, la mise en oeuvre du sol sous forme dudit film d'oxyde de métaux de transition, caractérisé en ce que l'agent chélatant est choisi parmi les di- ou tri-acides carboxyliques aliphatiques, les sels ou les mélanges de ceux-ci, et en ce que ledit solvant organique polaire a une température d'ébullition à pression atmosphérique inférieure à 150°C. A method produces thin films. The method includes preparing a solution containing transition metal oxide precursors, a chelating agent, and a polar organic solvent. The solution is agitated to form a sol. The sol is used in the form of the transition metal oxide film. The chelating agent is selected from among di- or tri-aliphatic carboxylic acids, or salts or mixtures thereof. The polar organic solvent has a boiling temperature at atmospheric pressure of less than 150° C.
Bibliography:Application Number: BE20130000742