SYSTEM ZUM KÜHLEN EINER PROBE IN EINER VORRICHTUNG ZUM BEARBEITEN DER PROBE

Zur gekühlten Bearbeitung einer Probe weist ein System zum Kühlen der Probe eine Halteeinrichtung (22) zur Aufnahme der Probe in einem Probenhalter (20), sowie eine Kühlkammer (12) auf, die die Position (P) der an der Halteeinrichtung montierten Probe umgibt. In der Kühlkammer (12) ist ein Fenster v...

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Main Authors LIHL REINHARD, RANNER ROBERT
Format Patent
LanguageGerman
Published 15.06.2013
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Summary:Zur gekühlten Bearbeitung einer Probe weist ein System zum Kühlen der Probe eine Halteeinrichtung (22) zur Aufnahme der Probe in einem Probenhalter (20), sowie eine Kühlkammer (12) auf, die die Position (P) der an der Halteeinrichtung montierten Probe umgibt. In der Kühlkammer (12) ist ein Fenster vorgesehen, durch welches eine Werkzeugaufnahme (16) zur Aufnahme eines Werkzeugs (W) für die Bearbeitung der Probe in die Kühlkammer (12) hineinragt. Die Halteeinrichtung (22) ist mittels eines fluiden Kühlmittels auf eine einstellbare Temperatur kühlbar und sorgt für eine Kühlung der Probe. Hierzu strömt ein Kühlmittel, z.B. flüssiger Stickstoff, durch einen Kühlmittelkanal der Halteeinrichtung (22), welcher eingangsseitig (31) mit dem Kühlmittel gespeist wird und ausgangsseitig (41) in die Kühlkammer (12) mündet, die auf diese Weise mit Kühlmittel-Gas gefüllt wird.
Bibliography:Application Number: AT20110001762