ROHRTARGET MIT SCHUTZVORRICHTUNG

• Main Authors: KATHREIN MARTIN, SULIK MANFRED, LINKE CHRISTIAN
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 15.10.2012
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Die Erfindung betrifft ein trägerrohrloses Rohrtarget (1) für die Kathodenzerstäubung aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung, das eine zumindest bereichsweise mit einem Kühlmedium in Kontakt stehende Innenoberfläche (3) aufweist, wobei zumindest ein Bereich der Innenoberfläche (3) durch zumindest eine Schutzvorrichtung (4) vom Kühlmedium getrennt ist. Die Schutzvorrichtung (4) kann beispielsweise als Polymerschicht ausgeführt sein. Die Rohrtargets (1) weisen eine ausgezeichnete Langzeitbeständigkeit auf. A tubular target for cathode atomization does not have a backing tube and it is made of molybdenum or a molybdenum alloy. The target has an inner surface which is in contact at least in certain regions with a cooling medium, wherein at least one region of the inner surface is separated from the cooling medium by at least one protective device. By way of example, the protective device may be in the form of a polymer layer. The tubular target exhibits outstanding long-term stability.