XPS STRUCTURE ANALYSIS OF TiN/TiC BILAYERS PRODUCED BY PULSED VACUUM ARC DISCHARGE

se crecieron bicapas de TiN/TiC sobre sustratos de acero inoxidable 304 usando un sistema de deposición física de vapor asistida por plasma en forma de arco pulsado a dos diferentes temperaturas del sustrato (50º C y150º C). Para el análisis de la composición química se empleó la técnica de la espec...

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Published inDyna (Medellín, Colombia) Vol. 77; no. 163; pp. 64 - 74
Main Authors ELISABETH RESTREPO PARRA, PEDRO JOSE ARANGO ARANGO, VICENTE JAVIER BENAVIDES PALACIO
Format Journal Article
LanguageEnglish
Published Universidad Nacional de Colombia 01.01.2010
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Summary:se crecieron bicapas de TiN/TiC sobre sustratos de acero inoxidable 304 usando un sistema de deposición física de vapor asistida por plasma en forma de arco pulsado a dos diferentes temperaturas del sustrato (50º C y150º C). Para el análisis de la composición química se empleó la técnica de la espectroscopía de fotoelectrones de rayos X (XPS). Se observó el comportamiento de las líneas Ti2p, N1s y C1s. Los análisis de energía de enlace confirmaron la conformación de TiN y TiC. Los picos C1s y Ti2p sufrieron un corrimiento a medida que se incrementó el tiempo de esputtering, revelando contaminación debido a la presencia de hidrocarburos. Además, los perfiles de profundidad de las bicapas de TiN/TiC mostraron que las películas crecidas a una temperatura de 150 ° C tienen una capa de TiN más gruesa que las muestras crecidas a 50º C. El nitrógeno se difundió en la capa de TiC y el carbón en la capa de TiN para ambas temperaturas.
ISSN:0012-7353