Implantação iônica por imersão em plasma de nitrogênio no interior de tubo
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Published in | Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo Vol. 34; no. 2; p. 80 |
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Main Authors | , , , , |
Format | Magazine Article |
Language | English |
Published |
21.06.2015
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ISSN: | 0101-7659 1983-4047 |
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DOI: | 10.17563/rbav.v34i2.982 |