40 Jahre industrielles Magnetron‐Sputtern in Europa Entwicklungsschritte zum leistungsfähigsten PVD‐Verfahren für die Großflächenbeschichtung

• Published in: Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Vol. 27; no. 6; pp. 21 - 26
• Main Authors: Seyfert, Ulf, Heisig, Ulrich, Teschner, Götz, Strümpfel, Johannes
• Format: Journal Article
• Language: English
• Published: 01.12.2015
• ISSN: 0947-076X; 1522-2454
• DOI: 10.1002/vipr.201500596

Abstract Im Oktober 1974 wurde die erste durch einen Ringspalt‐Magnet unterstützte Magnetronentladung am damaligen Forschungsinstitut Manfred von Ardenne (IvA) in Dresden ausgeführt. An ähnlichen Entwicklungen wurde zu dieser Zeit auch in anderen europäischen Ländern und den USA gearbeitet. Anlässlich dieses vierzigsten Jubiläums beschreibt der vorliegende Beitrag — mit überwiegendem Blick auf Europa — die Entwicklung der ersten Magnetrons und die antreibenden Faktoren für ihre Weiterentwicklung. Er illustriert den Fortschritt von den Anfängen der Sputtertechnik mit kleinen kreisförmigen Sputterquellen bis hin zu einer verlässlichen industriell einsetzbaren Technologie mit bewährten Lösungen zur Beschichtung großflächiger Substrate. 40 Years of Industrial Magnetron Sputtering In October 1974, the first magnetron discharge assisted by a ring gap magnet was carried out successfully at the former Manfred von Ardenne Research Institute (IvA). Similar developments were made in several countries in Europe and the US at that time. Inspired by the 40th anniversary, this article provides a brief survey of the history of magnetron sputtering and the driving factors behind the development of the sputtering technique into a reliable industrial process. Even if this development was also influenced by a major success in the US, the author focuses chiefly on developments in Europe. It also illustrates the progress of magnetron sputtering technology from small circular sputtering sources to industrially proven tools for large‐area coating solutions.