一种基于临近点集数据融合的AFM动态成像方法

原子力显微镜（Atomic for cemicroscopy，AFM）是纳米技术和纳米操作领域中最重要的研究工具之一．本文针对扣描成像的原子力显微镜，提出了一种改进的AFM动态成像方法，该方法分析了AFM系统中样品与针尖之间的非线性力对成像精度的影响，通过对扫描过程中获得的成像数据进行融合滤波，有效地提高了快速AFM的成像精度．只体向言，论文首先分析了原子力显微镜当前成像方法存在的主要问题，然后针对和高速扫描或者样品形貌高度有突变时，因AFM系统中非线性因素而引起的成像误差，提出了一种基于临近点集数据融合的改进动态成像方法，以提高AFM对于样品表面形貌的成像精度．最后分别利用原子力显微镜仿真平...

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Published inZi dong hua xue bao Vol. 37; no. 2; pp. 214 - 221
Main Author 董晓坤 方勇纯 张玉东
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 2011
Subjects
动态特性
原子力显微镜
扫描成像技术
数据融合
滤波技术
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Summary:原子力显微镜（Atomic for cemicroscopy，AFM）是纳米技术和纳米操作领域中最重要的研究工具之一．本文针对扣描成像的原子力显微镜，提出了一种改进的AFM动态成像方法，该方法分析了AFM系统中样品与针尖之间的非线性力对成像精度的影响，通过对扫描过程中获得的成像数据进行融合滤波，有效地提高了快速AFM的成像精度．只体向言，论文首先分析了原子力显微镜当前成像方法存在的主要问题，然后针对和高速扫描或者样品形貌高度有突变时，因AFM系统中非线性因素而引起的成像误差，提出了一种基于临近点集数据融合的改进动态成像方法，以提高AFM对于样品表面形貌的成像精度．最后分别利用原子力显微镜仿真平台数据和实验数据，验证了本文提出的改进成像方法的性能．
Bibliography:11-2109/TP
Atomic force microscopy （AFM）, imaging technology, data fusion, filtering technology, dynamics
TP274.2
ISSN:0254-4156
1874-1029